PECVD-oven

1.Type: 1200 graden Slider-type Dual Zone PECVD-systeem
2. Fasenummer: eenfasig
3. Thermokoppeltype: K-type
4.Model:TOB-DSP-1200 graad -PECVD
5. MOQ: 1 set

Aanvraag sturen

Praat nu

product Introductie

1200 graden Slider Type Dual Zone PECVD-systeem

Specificatie

Model	TOB-DSP-1200 graad -PECVD-I	TOB-DSP-1200 graad -PECVD-II		TOB-DSP-1200 graad -PECVD-III	TOB-DSP-1200 graad -PECVD-IV
Stroom	3 kW	3 kW		4 kW	4 kW
Grootte van de ovenbuis (mm)	Diameter 60(OD) X1800mm	Diameter 80(OD) X1800mm		Diameter 100(OD) X1800mm	Diameter 120(OD) X1800mm
Dimensie	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Voedingsspanning	220V
Fasenummer	Eenfasig
Controlemodus	Yudiaanse temperatuurregeling 30 secties kunnen alleen PID-temperatuurregeling gebruiken. FP93 temperatuurregeling (uit Japan) (Vervang geïmporteerde instrumenten, tegen extra kosten) 1,40 sectieprogramma temperatuurregeling kan worden onderverdeeld in 4,2,1 groepsprogramma's, als het programma in vier groepen is verdeeld, elk programmasegment 10, 2,6 groepen PID-regeling, lage, gemiddelde en hoge temperatuur kunnen elk met een set PID's worden ingesteld, zodat elk segment in staat is de temperatuur zeer nauwkeurig te regelen.
Temperatuurregelmodus	Intelligente PID
Burnout-bescherming en weergave	Ja
Bescherming tegen oververhitting	Ja
Overstroombeveiliging	Ja
Nauwkeurigheid van de controle	+/- 1 graad
Trekker	Trigger voor faseverschuiving
SCR	106 / 16E Duitsland Simon Kang
De maximale temperatuur van de 1,2 temperatuurzone	1200 graden
De 1.2 temperatuurzone Nominale temperatuur	1150 graden
Verwarmingssnelheid	Minder dan of gelijk aan 30 graden/min (beschikbaar op aanvraag)
Aanbevolen verwarmingssnelheid	Minder dan of gelijk aan 15 graden/min
Thermokoppeltype	K-type
De verwarmingslengte van 1,2 temperatuurzones	205 mm
Omgevingstemperatuur van het oppervlak	Minder dan of gelijk aan 45 graden
Plasma RF-vermogen	Vermogensbereik		0-500W
	Maximaal gereflecteerd vermogen		10W
	Signaalfrequentie		13,56 MHz ± 0,005%
	Lawaai		<30 dB
	Luchtafkoeling		koelmethode
	Ingangsvermogen		208-240V 50/60 Hz
Belangrijkste parameters van het GX-toevoersysteem	Standaard bereik		Protonstroomregelaar 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (u kunt elke schaal kiezen)
	Nauwkeurigheid		± 1.5%
	Drukval		<0.01MPa
	Herhaalbaarheid		± 0.2% F.S
	Max Bedrijfsdruk		3 MP
VS-0.1 uitlaatsysteem	stroomvoorziening		220V / 380V 380W
	Pompsnelheid		2L / S
	Weerstand vacuümmeter		ZDR-I
	Vacuüm meetbereik		0.1-10 5 Pa
	Vacuum pomp		VRD-8
	Gegolfde buis		KF25X1000mm
	Vacuüm systeem		10 -1Pa