CVD-oven met wervelbed

Model:TOB-1200-LTS-FB
TOB-1200-LTS-FB is een CVD-oven met wervelbed voor de afzetting van poeder op het oppervlak. Gas komt binnen aan de onderkant van de kwartsbuis en gaat omhoog door een poreuze kwartsplaat, waardoor het poeder in de verwarmde zone van 200 mm . 1200 graden wordt gesuspendeerd in minder dan 1 uur, 1150 graden continu.

Aanvraag sturen

Praat nu

product Introductie

Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd. is een van de meest betrouwbare fabrikanten en leveranciers van cvd-ovens met wervelbed in China. Welkom bij het kopen van hoogwaardige wervelbed cvd-oven tegen een concurrerende prijs in onze fabriek. Als u vragen heeft over samenwerking, aarzel dan niet om ons een e-mail te sturen.

CVD-oven met wervelbed

Specificatie

Productoverzicht

De TOB-1200-LTS-FB is een CVD-oven met wervelbed, gebouwd voor experimenten met poederafzetting op het oppervlak. Een kwartsbuis met hoge zuiverheid draagt in het onderste gedeelte een poreuze kwartsplaat; het poeder zit op die plaat, er wordt gas toegevoerd vanaf de onderkant van de buis, en de opwaartse stroom door de plaat tilt de deeltjes op zodat ze in de verwarmde zone drijven terwijl de afzetting plaatsvindt.

De oven bereikt in minder dan 1 uur een temperatuur van 1200 graden en houdt deze continu op 1150 graden, met een verwarmingszone van 200 mm en een zone met constante temperatuur van 100 mm. De buis is verkrijgbaar in Φ25 mm of Φ50 mm met een lengte van 600 mm, en de poreuze plaat is gemaakt op de poriegrootte die uw poeder nodig heeft. Een dubbellaagse schaal met luchtkoeling, een gespleten ovenlichaam voor het vervangen van buizen, een kwartsbuisbeschermer en een mechanisch overdrukventiel zijn allemaal standaard.

Belangrijkste technische kenmerken van TOB-1200-LTS-FB

Speciaal gebouwd voor poederafzetting:de poreuze kwartsplaat en de onderste gasinlaat zijn zo gemaakt dat deeltjes in de verwarmde zone worden gesuspendeerd en niet alleen daarin worden geplaatst.

Dubbellaagse schaal met luchtkoeling:de buitenhuid blijft koeler dan een enkelwandige oven met dezelfde kamertemperatuur.

Gesplitst, te openen ovenlichaam:het lichaam gaat open zodat de kwartsbuis kan worden vervangen zonder de oven te demonteren.

Kwartsbuisbeschermer:een schild rond de buis voorkomt letsel als het kwarts breekt onder vacuüm of thermische schok.

Mechanisch veiligheidsoverdrukventiel:beschermt tegen overdruk als de poreuze kwartsfilterplaat verstopt raakt.

Kamer van aluminiumoxide met hogetemperatuurcoating:zeer zuivere aluminiumoxidevezelisolatie met een in de VS geïmporteerde hoge temperatuur aluminiumoxidecoating op het kameroppervlak, voor een hoger verwarmingsrendement en een langere levensduur van de kamer.

Verwarmingselementen van HRE-legering:1200 graden bereikbaar in minder dan 1 uur, 1150 graden continu, ±1 graad nauwkeurigheid op een K-type thermokoppel.

Roestvrijstalen afdichtingssamenstel:standaard dubbele siliconen O-ringflens, met optionele pompsets tot 5 × 10⁻¹ Pa (mechanisch) of 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Volledige specificaties

1. Ovenlichaam en thermische specificaties

Parameter	Specificatie
Vermogen van apparatuur	110 V 1,2 kW
Kamermateriaal	Hoogzuiver aluminiumoxidevezelmateriaal
Verwarmingselement	HRE-legeringsdraad voor hoge temperaturen
Maximale temperatuur	1200 graden (in minder dan 1 uur)
Continue temperatuur	1150 graden (continu)
Nauwkeurigheid van de temperatuur	±1 graad
Thermokoppel	K-type thermokoppel
Maximale verwarmingssnelheid	Minder dan of gelijk aan 20 graden/min
Kamergrootte	80 mm × 200 mm
Lengte verwarmingszone	200mm
Zonelengte met constante temperatuur	100mm

2. Kwartsbuis en poreuze plaat

Parameter	Specificatie
Buis maat	Φ25 mm of 50 mm × 600 mm
Materiaal buis	Zeer zuivere, speciaal gemaakte kwartsbuis
Poreuze kwartsplaat poriegrootte	4-550 μm, meerdere specificaties beschikbaar en aanpasbaar

3. Vacuüm- en afdichtingssysteem

Item	Specificatie
Afdichtingssysteem	Standaard: één set dubbele siliconen O-ringen van roestvrij staal, met mechanische veiligheidsoverdrukklep en kwartsbuisbeschermer
Vacuüm, mechanische pompset	5 × 10⁻¹ Pa (optioneel)
Vacuüm, turbopompset	5 × 10⁻³ Pa (optioneel)

4. Afmetingen, gewicht en garantie

Item	Specificatie
Externe afmetingen	510 mm × 430 mm × 1000 mm
Netto gewicht	Ongeveer 35KG
Garantie	Eén jaar garantie, levenslange technische ondersteuning

5. Verbruiksartikelen en garantie-uitsluitingen

Item	Detail
Verbruiksartikelen niet inbegrepen	Verwarmingselement, thermokoppel, monsterkroes en soortgelijke verbruiksonderdelen zijn niet inbegrepen
Corrosieve en zure gassen	Schade veroorzaakt door het gebruik van corrosieve gassen en zure gassen valt niet onder de garantie

Controlesysteem

De controller draait op een embedded besturingssysteem met een 7-inch True-Color touchscreen. Vier functies zijn van belang voor herhaalbaar poeder-CVD-werk:

Functie	Detail
Opgeslagen temperatuurcurven	Er kunnen 15 temperatuurcurves vooraf worden opgeslagen, zodat u niet opnieuw een ander experimenteel proces hoeft op te zetten
Ingebed besturingssysteem	Schakelbare Chinees/Engelse grafische interface, 7-inch touchscreen-invoer in ware kleuren, intelligente mens-machine dialoogmodus
Niet-lineaire temperatuurcorrectie	Niet-lineaire monstertemperatuurcorrectie, om de weergegeven waarde in lijn te brengen met de gemeten monstertemperatuur
Geplande start	Beschikbaar als optionele functie, zodat een run op een gekozen tijdstip kan beginnen
Systeembescherming	Overtemperatuuralarm, thermokoppelbreukindicatie en lekbescherming

De onderstaande schermafbeeldingen volgen de volgorde van de rijen hierboven: de opgeslagen curvebibliotheek, de curve-editor, de schakelbare interface, niet-lineaire correctie, geplande start en de twee beveiligingsalarmen.

TOB-1200-LTS-FB fluidized bed CVD furnace with vertical quartz tube and split furnace body